一种单晶炉籽晶冷却杆及晶种附近熔体温度梯度调整方法
基本信息
| 申请号 | CN201910486470.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110106552A | 公开（公告）日 | 2019-08-09 |
| 申请公布号 | CN110106552A | 申请公布日 | 2019-08-09 |
| 分类号 | C30B29/20;C30B15/20 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 高佑君;王维林 | 申请（专利权）人 | 山西华晶恒基新材料有限公司 |
| 代理机构 | 太原晋科知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 赵科 |
| 地址 | 034000 山西省忻州市忻府区开发区汾源街项目孵化基地 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种单晶炉籽晶冷却杆，包括冷却管，所述冷却管设置有进水口和出水口，所述冷却管包括相互套接的内冷套管和外冷套管，所述内冷套管、外冷套管各自设置进出水口，所述内冷套管设置有其相对于外冷套管的第一位移传感器，所述外冷套管设置有其相对于单晶炉的第二位移传感器。本发明通过增加一个活动的内冷套管，通过内、外冷套管相对位置的变化，避免了现有技术中只能被动接受整体的熔体温度梯度，实现了对籽晶及籽晶附近熔体温度梯度的调整，极大的提高了引晶效率和放肩效率，具有较大的经济效益。 |
