一种单晶炉籽晶冷却杆

基本信息

申请号 CN201920842291.7 申请日 -
公开(公告)号 CN210506589U 公开(公告)日 2020-05-12
申请公布号 CN210506589U 申请公布日 2020-05-12
分类号 C30B29/20;C30B15/20 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 高佑君;王维林 申请(专利权)人 山西华晶恒基新材料有限公司
代理机构 晋中市思锐知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 赵科
地址 034000 山西省忻州市忻府区开发区汾源街项目孵化基地
法律状态 -

摘要

摘要 一种单晶炉籽晶冷却杆,包括冷却管,所述冷却管设置有进水口和出水口,所述冷却管包括相互套接的内冷套管和外冷套管,所述内冷套管、外冷套管各自设置进出水口,所述内冷套管设置有其相对于外冷套管的第一位移传感器,所述外冷套管设置有其相对于单晶炉的第二位移传感器。本实用新型通过增加一个活动的内冷套管,通过内、外冷套管相对位置的变化,避免了现有技术中只能被动接受整体的熔体温度梯度,实现了对籽晶及籽晶附近熔体温度梯度的调整,极大的提高了引晶效率和放肩效率,具有较大的经济效益。