一种硅片加工用的新型花篮

基本信息

申请号 CN201822031145.4 申请日 -
公开(公告)号 CN209150066U 公开(公告)日 2019-07-23
申请公布号 CN209150066U 申请公布日 2019-07-23
分类号 H01L21/673;H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 王宇 申请(专利权)人 禄丰隆基硅材料有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 无锡隆基硅材料有限公司
地址 651200 云南省楚雄彝族自治州禄丰县金山镇侏罗纪大街1号
法律状态 -

摘要

摘要 一种硅片加工用的新型花篮,其包括框架本体,框架本体内两侧设置有侧杆,框架本体的下端设置有挡杆,框架本体的外侧两端设置有耳座,其特征在于:所述的侧杆上设置有一排葵花籽形侧杆齿,所述的侧杆齿均匀的设置于两侧的侧杆上,所述侧杆的两端部设置有调节装置,用于调节两根侧杆之间的间距。本实用新型为一种可降低硅片棱边破损,提高硅片加工效率的新型花篮。