一种用于晶圆电镀的蜂窝板及其装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于晶圆电镀的蜂窝板及其装置

基本信息

申请号	CN201821319263.9	申请日	-
公开（公告）号	CN208869681U	公开（公告）日	2019-05-17
申请公布号	CN208869681U	申请公布日	2019-05-17
分类号	C25D7/12（2006.01）I; C25D17/00（2006.01）I	分类	电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人	李云华	申请（专利权）人	深圳市创智诚泰科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	518100 广东省深圳市新安街道67区中粮创智厂区1栋厂房1403-1405室
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆电镀的蜂窝板，蜂窝板设于被电镀晶圆与电镀阳极之间，为圆形板，所述蜂窝板的厚度为1‑50mm，其表面布设有通孔，所述通孔的任一横截面积为5‑5000mm2，所述通孔的分布密度范围为每张蜂窝板20‑15000个，所述蜂窝板的面积为晶圆面积的0.8‑1.2倍。同时提供了该蜂窝板用于晶圆电镀的装置，包括：电机，其为蜂窝板旋转提供动力，所述电机通过传动装置与蜂窝板传动连接，用于带动蜂窝板旋转。本实用新型的蜂窝板通过通孔大小、分布密度和形状来调节在阴极的电力线密度，当旋转后，可进一步分散电力线的密度差异，使镀层的均一性更好，无需设计制作特殊的挂具，制造成本大幅降低，且维护简便。