一种提高硅片切割质量的方法
基本信息
| 申请号 | CN201710354721.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108943454A | 公开（公告）日 | 2018-12-07 |
| 申请公布号 | CN108943454A | 申请公布日 | 2018-12-07 |
| 分类号 | B28D5/04;C10M173/02 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 薛士华 | 申请（专利权）人 | 常州顺风光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 常州知融专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 常州顺风光电材料有限公司 |
| 地址 | 213164 江苏省常州市武进区高新技术产业开发区新典路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种提高硅片切割质量的方法，该方法是将对硅片进行化学机械抛光的抛光液的成分加入到硅片切割工艺的切割液中，形成新的切割液对硅片进行切割。本发明通过将CMP抛光液中有效成分导入切割工艺，提高加工速度，提高加工质量；使用新的尼龙切割丝代替旧的细钢丝，节约了成本，尼龙丝采用缠绕设计，能更好的携带切割浆料，提高了加工精度。 |
