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一种ITO废料的回收加工方法

基本信息

申请号 CN202110582290.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113233873A 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN113233873A 申请公布日 2021-08-10
分类号 C04B35/01（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I 分类 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人 刘文杰;钟小华;童培云;朱刘 申请（专利权）人 先导薄膜材料有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 颜希文
地址 230000安徽省合肥市新站区龙子湖路与通淮南路交口西北角
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种ITO废料的回收加工方法。本发明所述方法为：将ITO废料依次经过脱脂烧结，第一次烧结，均质混料，第二次烧结得到所述ITO靶材；所述均质混料为将ITO粗粉和ITO细粉进行混料后，加入粘结剂搅拌均匀静置得到混合物料。本发明将ITO废料从新回收加工为新的高密度低电阻率的ITO靶材，节约资源，降低生产成本，且本发明将ITO粗粉和ITO细粉混合，增加ITO粉料的粒度分布，使ITO靶材内部存在孔隙，避免ITO靶材在蒸镀过程中加热开裂。通过本发明所述回收加工方法制备的ITO靶材密度为4.42～4.58g/cm，电阻率低至1360.12μΩ.cm，而且无开裂和变形现象。