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穿透式电子显微镜试片的制备方法

基本信息

申请号 CN201810279965.7 申请日 -
公开（公告）号 CN108760417B 公开（公告）日 2021-03-30
申请公布号 CN108760417B 申请公布日 2021-03-30
分类号 G01N1/28(2006.01)I;G01N23/02(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 巫永仁;庄翌圣;蔡齐航 申请（专利权）人 苏试宜特（上海）检测技术股份有限公司
代理机构 上海唯源专利代理有限公司 代理人 曾耀先
地址 201100 上海市闵行区宜山路1618号8幢C101室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种穿透式电子显微镜试片的制备方法，包括如下步骤：对一观察对象进行第一薄化处理，从而于所述观察对象内形成具有一定厚度的一观察片体；对所述观察片体进行L型切割，使得所述观察片体的一侧部和底部与所述观察对象相分离；于所述观察片体上靠近其与所述观察对象相分离的端部的上表面和所述观察对象之间沉积形成一连接结构，通过所述连接结构连接所述观察片体的上表面和所述观察对象；对所述观察片体进行第二薄化处理至设定厚度，从而得到穿透式电子显微镜试片；以及从所述观察对象中取出所述穿透式电子显微镜试片。本发明采用L型切割，从而在减薄过程中可将应力释放，避免观察片体弯曲的问题。