一种斜面研磨抛光用工装夹具及系统

基本信息

申请号 CN201922160990.6 申请日 -
公开(公告)号 CN212240559U 公开(公告)日 2020-12-29
申请公布号 CN212240559U 申请公布日 2020-12-29
分类号 B24B37/28(2012.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 韩巍巍;葛文志;王懿伟;矢岛大和;邓宇 申请(专利权)人 杭州美迪凯光电科技股份有限公司
代理机构 杭州华知专利事务所(普通合伙) 代理人 杭州美迪凯光电科技股份有限公司
地址 310000浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道20号大街578号3幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及研磨抛光技术领域,尤其涉及一种斜面研磨抛光用工装夹具,包括夹具本体,其特征是:夹具本体下端设有豁口槽,豁口槽的至少一侧为倾斜向下的贴合面,贴合面顶部固定有顶部挡板。还涉及一种斜面研磨抛光用工装系统,其特征是,包括上述工装夹具、研磨机,研磨机包括下研盘和游星轮,下研盘上套接带动其转动的中心轴;中心轴上套接可自由转动的内齿圈,下研盘上侧设有外齿圈;游星轮设于下研盘上且分别与内齿圈和外齿圈啮合;夹具本体固定在游星轮单元腔内。通过此夹具固定待加工基片,实现基片斜面的研磨、抛光,既解决因压力过大产生的侧面角破损现象,又保证加工时侧面的稳定性,提高斜面研抛产品良率,结构简单、操作方便。