一种晶圆涂布夹具
基本信息
| 申请号 | CN202120862536.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214335462U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214335462U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G03F7/16（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李涛;尚海;雷紫昂 | 申请（专利权）人 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华知专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张德宝 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道20号大街578号3幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆涂布夹具，包括吸附头，吸附头包括用于与外部电机连接的底座和水平固定在所述底座顶端的定位夹具承载平台，定位夹具承载平台顶端固定连接吸附平台，吸附平台上开设有吸孔槽，底座内设置中空通道，吸孔槽通过真空吸气孔连通中空通道，定位夹具承载平台上套有定位夹具。本实用新型在定位夹具承载平台设置定位夹具，圆形的定位夹具可依据晶圆尺寸设计，对不同尺寸的晶圆具有高度适用性，定位夹具设计简单，制作成本低，不同尺寸晶圆只需更换定位夹具即可使用，不需重新制作整个晶圆涂布夹具，成本和效率大大提高，适合推广应用；定位夹具的设置又可阻止作业时油墨离心甩出去撞到机器后反弹回来对晶圆产品背面造成污染。 |
