一种块体材料平面透射电镜样品的制备方法

基本信息

申请号 CN202011314203.X 申请日 -
公开(公告)号 CN112444435A 公开(公告)日 2021-03-05
申请公布号 CN112444435A 申请公布日 2021-03-05
分类号 G01N1/28(2006.01)I;G01N23/20008(2018.01)I;G01N23/04(2018.01)I 分类 测量;测试;
发明人 付新;贾荣光;李聪;于海燕;何少卿;杜志伟 申请(专利权)人 国标(北京)检验认证有限公司
代理机构 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人 黄家俊
地址 100088北京市西城区新街口外大街2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了属于透射电镜制样与分析技术领域的一种块体材料平面透射电镜样品的制备方法。具体步骤为1)将块体材料加工成薄片,固定于减薄用的环体表面;2)将薄片减薄至中心出现孔洞;3)在孔洞边缘观察粗定位,确定待分析制样的矩形选区;4)在分析制样的矩形选区表面沉积保护层;5)将镀过保护层的矩形选区三边切空,将截面修理平整;6)将纳米机械手与第四边的对边截面焊接后将第四边切空,矩形选区与薄片脱离;7)提取矩形选区焊接至FIB载网的柱体上;8)调整样品台使离子束垂直于矩形选区的截面入射,截面镀保护层,然后最终减薄,得到平面透射电镜样品。本发明是一种简单易行的定点制备块体材料平面透射电镜样品的方法。