扫描电镜大面积EBSD试样用样品台

基本信息

申请号 CN202022757171.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213957199U 公开(公告)日 2021-08-13
申请公布号 CN213957199U 申请公布日 2021-08-13
分类号 G01N23/203(2006.01)I;G01N23/20025(2018.01)I;G01N23/2204(2018.01)I;G01N23/2251(2018.01)I 分类 测量;测试;
发明人 左玉婷;张丽民;马会娜;张智慧;黄玉生;李聪 申请(专利权)人 国标(北京)检验认证有限公司
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人 刘徐红
地址 101400北京市怀柔区雁栖经济开发区兴科东大街11号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种扫描电镜大面积EBSD试样用样品台,属于扫描电镜技术领域。扫描电镜大面积EBSD试样用样品台,包括圆柱底座、带凹槽的夹具和若干螺钉,带凹槽的夹具由底板和两个挡板组成,其中一个挡板上设置螺纹孔;螺钉穿过螺纹孔将放置在夹具中的样品固定在螺钉与不带螺纹孔的挡板之间。本实用新型样品台的结构简单,操作方便,机械固定牢固,不易漂移,可以测量大面积EBSD样品,或同时测量多个镶嵌样品,极大的提高了检测质量及效率。