一种飞秒激光制备掩膜版的方法
基本信息
| 申请号 | CN202210449705.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114683009A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114683009A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | B23P15/00（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I | 分类 | 机床；不包含在其他类目中的金属加工; |
| 发明人 | 王学文;廉思甜;麦立强;柴年垚;喻科菘;潘雪雷;蔡智君 | 申请（专利权）人 | 佛山仙湖实验室 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 528200广东省佛山市南海区丹灶镇仙湖度假区阳光路3号仙湖湾商业广场C座内C1号办公室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种飞秒激光制备掩膜版的方法，包括如下步骤：步骤一：剪裁金属箔片；步骤二：将金属箔片包裹在盖玻片一面；步骤三：清洁金属箔片表面；步骤四：在金属箔片上通过飞秒激光技术刻蚀出刻蚀槽，制成掩膜版。本方案通过使用飞秒激光加工掩膜版替代了以往的通过使用光刻机和光刻胶进行曝光的工艺，本方案无需使用光刻胶，掩膜版制作过程环保，并且通过飞秒激光直接蚀刻，加工速度快，可有效节省加工时间。 |
