金属有机化学气相沉积设备的尾气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN201921188422.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211069568U | 公开（公告）日 | 2020-07-24 |
| 申请公布号 | CN211069568U | 申请公布日 | 2020-07-24 |
| 分类号 | B01D53/14(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 王曙;李华;杨东;吴慧哲;王伟明 | 申请（专利权）人 | 江苏宜兴德融科技有限公司 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 江苏宜兴德融科技有限公司 |
| 地址 | 214213江苏省无锡市宜兴市经济开发区腾飞路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种金属有机化学气相沉积设备的尾气处理装置，该尾气处理装置包括：进气单元，其输入待处理的废气；吸收单元，其上设有排气口且与所述进气单元连接，所述吸收单元内设有用于吸收所述待处理的尾气的吸收液；监测单元，用于监测所述吸收单元中吸收液的参数并输出到监测单元中，所示参数包括pH值、ORP值和/或温度；以及控制单元，基于所述监测单元输出的包含参数值的信号来控制所述尾气处理装置中的伺服部件，从而调节所述吸收液的对应参数。本实用新型装置处理能力大大提升，最多可同时满足十数台MOCVD设备的尾气处理。负压采用文丘里及风机同时控制，负压范围广、精确度高。 |
