一种线条粗糙度的测量方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN201610645840.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106352820B | 公开（公告）日 | 2019-01-22 |
| 申请公布号 | CN106352820B | 申请公布日 | 2019-01-22 |
| 分类号 | G01B15/08 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张利斌;韦亚一 | 申请（专利权）人 | 北京中科微投资管理有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党丽;王宝筠 |
| 地址 | 510700 广东省广州市黄埔区（广州高新技术产业开发区）开源大道136号自编A栋102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种线条粗糙度的测量方法及系统，确定多个像素阈值，并获得每个像素阈值下的边缘分布，在对边缘分布进行分析后，获得每个像素阈值下的线条粗糙度，通过对所有像素阈值下的线条粗糙度进行比较，选择线条粗糙度连续变化时的最小值作为待测结构的线条粗糙度。在该方法中，采用多像素阈值的方法，每次测试中对所有像素阈值下的线条粗糙度进行比较，选择线条粗糙度连续变化时的最小值作为待测结构的线条粗糙度，该线条粗糙度为最佳像素阈值下的测量值，测试结果更具有准确性，对于不同批次产品的测量，最佳像素阈值下的测量值为动态获得的，测试结果具有准确性和稳定性，能够真实反映刻蚀工艺是否达标，利于提高产品的良率和性能。 |
