一种CuNi-Al-Mo蚀刻液
基本信息
| 申请号 | CN202111000708.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113774382A | 公开（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申请公布号 | CN113774382A | 申请公布日 | 2021-12-10 |
| 分类号 | C23F1/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王雪刚;凌丽靖;罗志华 | 申请（专利权）人 | 漳州思美科新材料有限公司 |
| 代理机构 | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李宁 |
| 地址 | 363118福建省漳州市高新区九湖镇众创园2栋4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种CuNi‑Al‑Mo蚀刻液，包含：硝酸、硫酸、有机酸、硝酸盐化合物和助剂；其中，按重量百分比计，硝酸的含量为2wt％，硫酸的含量为12wt％，有机酸的含量为25wt％‑40wt％，硝酸盐化合物的含量为1.8wt％‑3.2wt％，助剂的含量为0.05wt％‑0.3wt％，其余为水。本发明可有效降低CuNi金属层的蚀刻速率及侧向蚀刻造成的CD Loss，能同时满足最上层的CuNi金属层图案不被过蚀刻。 |
