瞬态电压抑制器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201811090923.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109244069B | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN109244069B | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | H01L27/02;H01L29/06;H02H9/04 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 浙江昌新生物纤维股份有限公司 |
| 代理机构 | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 浙江昌新生物纤维股份有限公司;深圳市心版图科技有限公司 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市秀洲区王江泾镇王南公路南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种瞬态电压抑制器，其包括衬底、间隔形成在衬底的上表面并延伸至衬底内的多个沟槽区，每个沟槽区包括间隔排列的一个第一沟槽及一个第二沟槽，第一沟槽内填充有第一多晶硅层，第二沟槽内填充有第二多晶硅层，形成在衬底的上表面并覆盖沟槽区的第三多晶硅层，形成在第三多晶硅层的上表面的第一金属层，间隔形成在衬底的下表面并延伸至衬底内的多个第一注入区，多个第一注入区与多个沟槽区一一对应设置，形成在多个第一注入区之间的第二导电类型的多个第二注入区，形成在衬底的下表面并覆盖第一注入区及第二注入区的下表面的第二金属层。本发明还提供瞬态电压抑制器的制备方法，提高了瞬态电压抑制器的防浪涌能力和工作功率。 |
