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一种循环式扫描曝光机

基本信息

申请号	CN201920922491.3	申请日	-
公开（公告）号	CN210005856U	公开（公告）日	2020-01-31
申请公布号	CN210005856U	申请公布日	2020-01-31
分类号	G03F7/20	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	蔡志国;张米好;江俊龙;农远峰	申请（专利权）人	深圳凯世光研股份有限公司
代理机构	深圳市千纳专利代理有限公司	代理人	刘洋
地址	518000 广东省深圳市宝安区西乡兴业路3012号老兵大厦西座二楼
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及光学设备领域，解决现有工件曝光设备曝光效率低的问题。本申请公开了一种循环式扫描曝光机，包括有底座，设置在底座上的曝光台，以及曝光装置，曝光台上分别设有两组用于工件供料的左供料机构和右供料机构，曝光装置支架上设有驱动一排以上的曝光装置移动的曝光装置驱动机构；底座上设有驱动曝光装置支架垂直曝光装置支架移动的曝光装置支架驱动机构。左供料机构和右供料机构可以同时把工件托起准备曝光，当左边的工件曝光完毕，曝光装置移动到右边的工件直接进行曝光，同时左边的供料机构把曝光的工件传送出料，再把左边支撑柱组件上未曝光的工件传送托起准备曝光，依次循环；传感器用于检测工件是否弯曲，从而剔除不合格的工件；从而曝光效率高，不需要有上料等待时间。