一种气相沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN202011528221.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112760616A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112760616A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | C23C16/52(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 胡祥龙;周岳兵;戴煜;许鹏;王艳艳 | 申请（专利权）人 | 湖南顶立科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘奕 |
| 地址 | 410118湖南省长沙市长沙经济技术开发区星沙产业基地蓝田北路以东、凉塘东路以北、双塘路以西湖南顶立科技有限公司内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开一种气相沉积装置，包括，壳体、料盘、传动轴组件以及驱动装置，其中，所述料盘设置在所述壳体的内腔，所述料盘用于承载工件；传动轴组件设置在所述料盘下方，与所述料盘连接；驱动装置设置在所述壳体外部，与所述传动轴组件远离所述料盘的一端连接，所述驱动装置被配置为：带动所述传动轴组件转动的同时使得所述传动轴组件沿轴向方向移动。本申请提供的气相沉积装置，相较于现有技术而言，可以提高工件表面沉积厚度的均匀性，提高工件表面质量。 |
