一种沉积装置及制备热解炭的方法
基本信息
| 申请号 | CN201811466903.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109371379B | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN109371379B | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | C23C16/26;C23C16/458 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 戴煜;吕攀;李志国;胡祥龙 | 申请（专利权）人 | 湖南顶立科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗满 |
| 地址 | 410005 湖南省长沙市长沙经济技术开发区星沙产业基地开元东路1318号综合楼606室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种沉积装置，包括转动轴、进气通道、筒体、位于所述筒体内的沉积基板，所述筒体上设有盖板，所述盖板上开设有通孔，所述沉积基板与所述盖板相对设置，所述沉积基板与所述转动轴固定连接，所述筒体与所述进气通道连通。本发明所提供的沉积装置，通过转动轴带动沉积基板旋转，能够保证沉积气体及沉积膜厚度分布均匀，实现沉积气体在沉积基板上方均匀分布并沉积，延长沉积时间，可以得到大厚度且密度均匀的热解炭，同时本发明的结构简单，降低了生产成本。 |
