带hopping跳跃成像模式的电化学成像测量方法
基本信息
| 申请号 | CN201610139699.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107192855A | 公开（公告）日 | 2017-09-22 |
| 申请公布号 | CN107192855A | 申请公布日 | 2017-09-22 |
| 分类号 | G01Q30/02(2010.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 牛利;韩冬雪;王伟;包宇 | 申请（专利权）人 | 江苏卓芯电子科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226109 江苏省南通市高新区世纪大道998号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种带hopping跳跃成像模式的电化学成像测量方法，原理图如图2所示。实验时探针从距离样品基底H高度的位置开始向下步进，当检测到的电流达到电流阈值I时探针停止移动，记录此时探针的移动距离D，用H‑D作为这个点的检测值，然后自动返回到H高度上继续下一个点的检测。带hopping跳跃成像模式的电化学成像测量方法可以防止探针与被测样品发生刚性接触，避免损坏探针。且电化学成像测量结果中的每个检测点都足够接近被测样品表面，使电化学成像的分辨率得到显著的提高。 |
