一种薄膜太阳能电池的生产方法及其电沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN201310110497.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104091854B | 公开（公告）日 | 2017-06-20 |
| 申请公布号 | CN104091854B | 申请公布日 | 2017-06-20 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张征宇;李伟中 | 申请（专利权）人 | 恒基伟业投资发展集团有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京恒基伟业投资发展有限公司;北京恒昶动力科技有限公司 |
| 地址 | 100083 北京市海淀区中关村东路18号财智国际大厦C座10层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的一种薄膜太阳能电池的生产方法及其电沉积装置，其方法包括：在玻璃基底上沉积透明导电层；在所述透明导电层上成形窗口层；在所述窗口层上电沉积吸收层；移除所述接触电极，在原所述接触电极处产生接触电极空缺；划第一沟槽步骤；填充所述第一沟槽和剩余的接触电极空缺；划第二沟槽步骤；沉积背接触层和背电极；划第三沟槽步骤；所述接触电极空缺的位置与所述第一沟槽和/或第二沟槽和/或第三沟槽所在的位置部分或全部重叠。现有技术中的生产太阳能电池的装置和方法中太阳能电池的单位面积里参与光电转换的有效面积小，进而提供一种单位面积里参与光电转换的有效面积更大的薄膜太阳能电池的生产方法及其电沉积装置。 |
