一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统
基本信息
| 申请号 | CN202110811431.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113481606A | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113481606A | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/08（2006.01）I;G01B21/14（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李文英;杨辉;薛武鹏;程涛 | 申请（专利权）人 | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 710000陕西省西安市蓝田县华胥镇西北家具工业园新港三路付9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统，包括底座，底座的上端设置有夹持机构，夹持机构的上端设置有等径机构，夹持机构包括固定块，固定块固定连接在底座的上表面中心处，固定块的表面上通过轴承转动连接有转杆，本发明的有益效果是：将检测环套接在圆杆的表面上，然后缓缓放开检测环使其自动下落，当检测环下落时插块与生长管的内壁接触，当生长管内壁的内径发生变化时，进而会导致生长管内壁对插块的压力发生变化，最终压力反馈到动态压力感应器，进而通过动态压力感应器的读数可得出生长管内径是否等径，通过对生长管的内径进行检测，防止生长管内径存在变化导致对锗晶体的生长造成影响。 |
