一种锗晶体生长设备复合减速器装置
基本信息
申请号 | CN202110809689.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113463186A | 公开(公告)日 | 2021-10-01 |
申请公布号 | CN113463186A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
分类号 | C30B15/30(2006.01)I;C30B15/20(2006.01)I;C30B29/08(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 李文英;杨辉;薛武鹏;程涛 | 申请(专利权)人 | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 710000陕西省西安市蓝田县华胥镇西北家具工业园新港三路付9号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种锗晶体生长设备复合减速器装置,包括驱动机构,驱动机构包括基杆,基杆的表面通过固定组件固定连接有电机,电机的输出端固定连接有第一齿轮,本发明的有益效果是:通过设置组合式减速器,使提拉杆的抬升与旋转速度稳定,不会间断性的抬升,有效减少锗晶体表面横纹,使生长出的锗晶体更加均匀,在锗晶体生长过程中,电机旋转带动第一齿轮和第二齿轮旋转,经过第一行星减速器和第二行星减速器减速后,输出杆带动提拉杆缓慢旋转,通过第一行星减速器带动圆筒上移,圆筒通过圆块带动提拉杆缓慢提升,其中第一行星减速器和第二行星减速器的减速比例不同,方便适应锗晶体的生产速度。 |
