一种蚀刻机
基本信息
| 申请号 | CN201520095525.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204509461U | 公开（公告）日 | 2015-07-29 |
| 申请公布号 | CN204509461U | 申请公布日 | 2015-07-29 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 裴文龙 | 申请（专利权）人 | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京恒都律师事务所 | 代理人 | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
| 地址 | 274000 山东省菏泽市开发区岳程办事处岳楼社区八一东路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蚀刻机，在机箱内设置有至少两个蚀刻槽和至少两个冲水槽及至少两个驱动装置，两个蚀刻槽并排位于后方，两个冲水槽并排位于前方，两个驱动装置分别位于两个蚀刻槽和两个冲水槽之间；在每个蚀刻槽位置设置安装有槽盖；驱动装置上连接有篮筐，篮筐上设置有第一旋转轴和第二旋转轴，驱动装置驱动篮筐绕第一旋转轴自转，并驱动第一旋转轴绕第二旋转轴旋转。本实用新型提高了腐蚀均匀性和腐蚀速度及冲洗均匀性和冲洗速度。 |
