一种硅片清洗机
基本信息
| 申请号 | CN201520126739.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204516729U | 公开（公告）日 | 2015-07-29 |
| 申请公布号 | CN204516729U | 申请公布日 | 2015-07-29 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 裴文龙 | 申请（专利权）人 | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京恒都律师事务所 | 代理人 | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
| 地址 | 274000 山东省菏泽市开发区岳程办事处岳楼社区八一东路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型在于提供一种硅片清洗机，包括成型模组和清洗装置，所述清洗装置设在所述成型模组上，所述成型模组上连接有第一驱动装置；所述清洗装置通过所述第一驱动装置传动，在所述成型模组上移动；所述清洗装置内设有旋转机构和硅片清洗部，所述旋转机构带动所述硅片清洗部内的硅片转动。清洗装置通过在成型模组上下移动，有利于硅片清洗腐蚀性的均匀性；在清洗装置内设置旋转机构，可以使硅片的不同位置不间断的接触药液的不同位置点，达到一种均匀的清洗腐蚀效果。 |
