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一种芯片显影机用取片装置

基本信息

申请号 CN201922287957.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211180531U 公开（公告）日 2020-08-04
申请公布号 CN211180531U 申请公布日 2020-08-04
分类号 G03F7/26(2006.01)I 分类 -
发明人 许国庆 申请（专利权）人 菏泽力芯电子科技有限公司
代理机构 济南宝宸专利代理事务所（普通合伙） 代理人 菏泽力芯电子科技有限公司
地址 274000山东省菏泽市高新区中华西路2059号发为工业园A17西户
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种芯片显影机用取片装置，包括连通管、气缸、海绵垫、推板、电动推杆、电源盒、开关、外壳、横板、防滑条、壳体、底盖、连接气囊、通气板、橡胶垫、吸盘和连接板。本实用新型可以通过在通气板底部安装多个吸盘，可以在进行取片时芯片表面受力均匀，避免因为负压引起的速度过大导致损坏芯片，吸盘底部的橡胶垫可以在取片时防止芯片损伤；可以通过伸缩杆和气缸快速进行取片，通过在壳体内部设有海绵垫可以保护气缸，壳体底部通过连接板固接底盖，底盖可以在取片时进行定位，也可以在取片过程中保护芯片，避免芯片在取片过程受到损伤。