一种蚀刻机
基本信息
| 申请号 | CN201520100000.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204509462U | 公开（公告）日 | 2015-07-29 |
| 申请公布号 | CN204509462U | 申请公布日 | 2015-07-29 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 裴文龙 | 申请（专利权）人 | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京恒都律师事务所 | 代理人 | 菏泽力芯电子科技有限公司 |
| 地址 | 274000 山东省菏泽市开发区岳程办事处岳楼社区八一东路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蚀刻机，在机箱内设置有蚀刻槽和冲水槽，在机箱内安装有蚀刻槽自循环管路，在蚀刻槽内设置有第一制冷盘管，在自循环管路中安装有循环泵，自循环管路分别与蚀刻槽的上下端相连接。本实用新型保护蚀刻槽中上下温度一致，提高了腐蚀均匀性和腐蚀速度。 |
