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一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法

基本信息

申请号	CN202110661647.9	申请日	-
公开（公告）号	CN113514011A	公开（公告）日	2021-10-19
申请公布号	CN113514011A	申请公布日	2021-10-19
分类号	G01B11/30（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	汤惠淋;宋世金;朱刘	申请（专利权）人	先导薄膜材料（广东）有限公司
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	颜希文
地址	511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种快速判别金属薄膜粗糙度的方法。所述快速判别方法包括如下步骤：（1）以金属为靶材，玻璃为衬底，在惰性气体下进行直流磁控溅射，得到金属薄膜；（2）测试步骤（1）得到的金属薄膜反面的镜像光泽度，识别粗糙度。本发明通过对金属薄膜反面的镜像光泽度的测试，不仅可以判断金属薄膜在直流磁控溅射沉积过程中的粗糙度，快速的筛选制备的产品是否合格；又可以通过判断在特定直流磁控溅射参数下制备的产品的粗糙度，来进一步来指导优化直流磁控溅射的参数，使制备的金属薄膜具有纯度高、氧化度低以及粗糙度低的特点。且本发明所述方法有利于降低由于金属薄膜表面和内部粗糙度异常导致的产品不良的几率，缩短金属薄膜的质检时间。