一种旋转靶材的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110646193.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113463043A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113463043A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;B22D19/00（2006.01）I;B22D27/04（2006.01）I;B22D27/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 沈文兴;白平平;童培云 | 申请（专利权）人 | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种旋转靶材的制备方法，涉及靶材制备领域。本发明所述一种旋转靶材的制备方法，包括如下步骤：（1）将背管放入涂有脱模剂的模具中，密封后将模具放入到炉膛中，排除空气后对炉膛进行加热保温；（2）将金属锭子加热熔化后，沿着模具上的浇注口管道注入到模具中，保温一段时间后，关闭加热电源，冷却至金属熔点以下20‑30℃，依次自下而上冷却，直至完全冷却至室温；（3）打开模具，将靶材取出后进行加工，得到所述旋转靶材。 |
