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气密性检测装置

基本信息

申请号 CN202022812292.2 申请日 -
公开（公告）号 CN214121522U 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN214121522U 申请公布日 2021-09-03
分类号 G01M3/20（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 梁国泰;黄宇彬;童培云;朱刘;何坤鹏 申请（专利权）人 先导薄膜材料（广东）有限公司
代理机构 北京五洲洋和知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张向琨
地址 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
法律状态 -

摘要

摘要 本公开提供了一种气密性检测装置，其用于对靶材组件进行气密性检测，所述气密性检测装置包括：支撑板，所述靶材组件密封设置于所述支撑板的上方，并与所述支撑板形成腔体，所述支撑板设有与所述腔体连通的通孔；气体提供装置，用于向所述靶材组件背离所述腔体的一侧释放检测气体；气体检测装置，所述气体检测装置的一端连通所述通孔，以对所述腔体内的气体进行检测。本公开的气密性检测装置能够将腔体内的气体抽出并进行检测，从而对靶材组件的气密性进行有效地检测，保证了用于溅射的靶材组件在溅射过程中具有良好的气密性。