一种高纯TeO
基本信息
| 申请号 | CN202110277712.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113511882A | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN113511882A | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | C04B35/01（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 吴彩红;文崇斌 | 申请（专利权）人 | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种高纯TeOX平面靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将Te粉末和TeO2粉末混合均匀，得到混合料；（2）将步骤（1）得到的混合料在热压炉内进行热压，降温出炉，即得TeOX平面靶材。本发明同时提出采用该制备方法所制备得到的TeOX平面靶材。本发明在反应过程中采用两段保温的方法，控制保温温度和保温时间，即可在远高于碲的熔点的温度下热压得到TeOX平面靶材。本发明提供的制备方法成本低廉、操作简单，并且得到的高纯TeOX平面靶材的相对密度大于90%，纯度大于5N，电阻率小于1000Ω•cm。 |
