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微型透镜集成微型光路反射镜的一体化组件及其制作方法

基本信息

申请号 CN202110535194.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113267838A 公开（公告）日 2021-08-17
申请公布号 CN113267838A 申请公布日 2021-08-17
分类号 G02B3/00（2006.01）I;G02B5/08（2006.01）I;G02B17/08（2006.01）I 分类 光学;
发明人 黄寓洋 申请（专利权）人 苏州苏纳光电有限公司
代理机构 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 赵世发
地址 215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼109C单元
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种微型透镜集成微型光路反射镜的一体化组件及其制作方法。所述一体化组件包括：光学元件主体，所述光学元件主体具有入光面、反射镜面和透镜面，自入光面入射的入射光束能够经所述反射镜面反射至透镜面，经所述透镜面汇聚后射出。本发明实施例提供的一种微型透镜集成微型光路反射镜的一体化组件，将两个分立光学元件集成设置为一体，从而减少了元件数量，使一体化组件的体积更小，更容易实现贴装和对准，同时还降低生成材料和工艺成本；本发明实施例提供的一种微型透镜集成微型光路反射镜的一体化组件的制作工艺均在晶圆级完成，从而可以极大地减少人工，同时还提高了制作效率，提高了良率。