用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202022109922.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213091730U | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN213091730U | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | G01R1/04;G01R31/28 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张建 | 申请（专利权）人 | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 赵世发 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市吴中区工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼109C单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于实现晶圆移动检测的防位移装置及晶圆检测装置。所述防位移装置包括：相互配合的底座和盖板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽内还设置有至少一个支撑部件，所述盖板能够与所述底座固定结合并与所述收容槽围合形成一收容腔；以及所述盖板还具有沿厚度方向贯穿所述盖板的窗口，所述窗口与所述收容腔连通。本实用新型实施例提供的一种晶圆检测装置，能够与晶圆检测仪器配合使用，从而在晶圆的运动过程中实现对整张晶圆的检测，且能够保持在检测的运动过程中保持晶圆不会移动，进而可以有效防止晶圆在检测仪器测试时瞬动所导致的位移现象。 |
