用于曝光机汞灯散热的散热装置
基本信息
| 申请号 | CN202022838441.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213517881U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213517881U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 张建;黄寓洋 | 申请（专利权）人 | 苏州苏纳光电有限公司 |
| 代理机构 | 南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 赵世发 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼109C单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于曝光机汞灯散热的散热装置。所述散热装置包括控制器、压差监测机构、报警机构以及至少一个第一导流管道、至少一个第二导流管道、至少一个第三导流管道，所述控制器分别与所述压差监测机构和报警机构连接；所述第一导流管道与所述光源灯室连通，且所述第一导流管道内设置有风机；所述第二导流管道的第一入口与所述第一导流管道的第一区域连接并导通，所述第三导流管道的第二入口与所述第一导流管道的第二区域连接并导通，所述压差监测机构设置在所述第二导流管道内，当所述压差大于或小于指定压差值时，所述控制器能够使所述报警机构发出报警信号。本实用新型提供的散热装置，结构简单，使用和安装方便且维护成本低。 |
