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可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉

基本信息

申请号 CN201920935815.7 申请日 -
公开（公告）号 CN210151239U 公开（公告）日 2020-03-17
申请公布号 CN210151239U 申请公布日 2020-03-17
分类号 C30B29/06;C30B15/00 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 吴学军 申请（专利权）人 宁夏旭樱新能源科技有限公司
代理机构 宁夏合天律师事务所 代理人 孙彦虎
地址 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区欣盛路16号
法律状态 -

摘要

摘要 一种可快速拆装式单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管、连接杆、固定环体，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，进水管和出水管中的冷却液均通过固定环体与外界实现交换，而固定环体只需要卡装在单晶炉炉体和炉盖之间，水冷热屏的安装以及进水管、出水管的安装均不需要破坏炉体结构，尤其适用于之前没有设置水冷热屏的小型单晶炉，改造难度小，改造成本低，本实用新型还提供了一种可快速拆装式单晶硅制备用单晶炉。