单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201920935816.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210151240U | 公开（公告）日 | 2020-03-17 |
| 申请公布号 | CN210151240U | 申请公布日 | 2020-03-17 |
| 分类号 | C30B29/06;C30B15/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 吴学军 | 申请（专利权）人 | 宁夏旭樱新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 宁夏合天律师事务所 | 代理人 | 孙彦虎 |
| 地址 | 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区欣盛路16号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种单晶硅制备用水冷热屏，包括内筒、外筒、环形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板组、进水管、出水管，所述内筒同心套装在外筒内，外筒的顶部向内翻折形成内缘，所述第一隔板、第二隔板竖直设置在环形内腔内，所述隔板组设置于内缘与环形底之间，在第一隔板、第二隔板之间的内筒的环壁上设有冷却液入口和冷却液出口，本实用新型中，冷却液出口靠近冷却液入口设置，冷却液从冷却液入口进入后，沿隔板组自上而下流动，形成S形流动轨迹，然后流入第一隔板、第二隔板之间的空腔的底部，再从冷却液出口流出，最大程度利用了内筒为侧壁表面，最大程度的增加了冷却液的流动距离，提高了冷却效率，本实用新型还提供了一种单晶硅制备用单晶炉。 |
