一种线接触式甩干机

基本信息

申请号 CN202120566437.7 申请日 -
公开(公告)号 CN214226883U 公开(公告)日 2021-09-17
申请公布号 CN214226883U 申请公布日 2021-09-17
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘庆辉;王育新;张华 申请(专利权)人 保定通美晶体制造有限责任公司
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 李兴林
地址 072650河北省保定市定兴县金台经济开发区107国道东侧鹏程路西端南侧
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种线接触式甩干机,包括底座、电机和甩干盘,所述电机安装在所述底座上,所述电机的旋转轴与所述甩干盘的中心连接在一起,所述甩干盘的顶面上设置有晶片固定用的线接触定位组件。本实用新型构思巧妙,布局合理,通过晶片定位方式的改变,使得甩干时晶片边缘表面改善,甩干作业彻底,效果好,残留问题得到有效缓解。