一种卷对卷化学气相沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN202011409898.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112553601A | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN112553601A | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孔令杰;白晓航 | 申请（专利权）人 | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘生昕 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市高新区科学大道110号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种卷对卷化学气相沉积设备，包括放料仓、刚玉管、收料仓、放料辊、收料辊、转向轮一、转向轮二、传动辊、纤维材料、供气系统、电加热炉、真空泵组、设备控制器，所述电加热炉的内部水平设置有刚玉管，所述刚玉管的两端均贯穿电加热炉且分别与放料仓和收料仓通过法兰连接，所述放料仓的内部设置有电机，电机的输出轴与传动辊连接，本发明通过纤维传动辊，使得纤维材料在反应区中实现曲线传动，提升了反应区的利用率，进而提升通过卷对卷化学气相沉积设备制备复合纤维材料的效率。 |
