一种氮化硼复合纤维的化学气相沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN202011412642.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112553602A | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN112553602A | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孔令杰;白晓航 | 申请（专利权）人 | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘生昕 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市高新区科学大道110号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化硼复合纤维的化学气相沉积设备，所述真空腔体包括刚玉管和设置在刚玉管两端的收丝腔和放丝腔，所述刚玉管的两端与收丝腔及放丝腔之间通过法兰盘固定密封连接，所述氮化硼沉积装置包括对刚玉管进行加热的电炉及供气系统，所述刚玉管安装在电炉的内部并刚玉管的两端贯穿电炉设置，所述供气系统的输出端通过管道与放丝腔连接，所述纤维传动装置包括位于放丝腔内的放丝轴及放丝辊和收丝腔内的收料轴及收丝辊，所述收丝腔上设置有收丝保护装置，所述真空泵组与收丝腔体连接，本发明实现了在纤维表面连续制备氮化薄膜，并通过设置收丝保护装置，避免杂质对于成品的污染，实现氮化硼复合纤维的批量化制备。 |
