一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备
基本信息
| 申请号 | CN202011414040.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112553603A | 公开（公告）日 | 2021-03-26 |
| 申请公布号 | CN112553603A | 申请公布日 | 2021-03-26 |
| 分类号 | C23C16/34(2006.01)I;B65H18/10(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孔令杰;白晓航 | 申请（专利权）人 | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
| 代理机构 | 合肥正则元起专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘生昕 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市高新区科学大道110号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备，包括真空腔体和纤维传动装置，所述真空腔体包括中间中空腔、放卷腔、收卷腔，所述中间中空腔为管状结构，且中间中空腔的两端固定连接在放卷腔和收卷腔上，所述中间中空腔的内部设置有内加热管，所述内加热管的两端穿过中间中空腔分别设置在放卷腔和收卷腔的内部，所述内加热管与放卷腔相接触位置设置有绝缘密封圈，且在绝缘密封圈的侧面上设置有电极，所述电极经导线与控制器电连接，通过将内加热管内置于中间中空腔内部，实现快速升温，且减少加热时候热量向外逸散，更为节能。 |
