一种晶圆翘曲调整装置及防翘曲方法
基本信息
| 申请号 | CN202110715887.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113257721B | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN113257721B | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孙丰;张宝峰;吴斌;刘斌 | 申请（专利权）人 | 苏州赛腾精密电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京中高专利代理有限公司 | 代理人 | 诸世跃 |
| 地址 | 215100江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路4号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆翘曲调整装置及防翘曲方法，包括：置放台，开设有第一避让孔，其上安装有支撑晶圆的定位盘，定位盘开设有避让晶圆第一面的第四避让孔，定位盘包括定位盘主体和沿其周向凸出成型的一圈第二凸缘，定位盘主体嵌设定位在第一避让孔中，第二凸缘与置放台的上端面相接触；压紧机构，可向着晶圆的第二面移动，压紧晶圆的第二面；平整机构，包括托板和与托板连接的驱动组件；驱动组件可带动托板沿着晶圆的翘曲方向的反方向平移至第一面的非标记区域，并通过调整平移量以调整晶圆的平整度。本发明能够对晶圆进行固定和平整，有效避免了晶圆弯曲变形，提高晶圆标记精度；定位盘与置放台为快速拆装结构，便于更换不同类的晶圆。 |
