一种具有复合膜层的声表面波装置
基本信息
| 申请号 | CN202111087051.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113794458A | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN113794458A | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | H03H9/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 封琼;王为标;许志斌;陆增天;李壮 | 申请（专利权）人 | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 过顾佳 |
| 地址 | 214124江苏省无锡市经济技术开发区高运路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有复合膜层的声表面波装置，涉及声表面波器件领域，该声表面波装置复合膜层和叉指电极，叉指电极形成于复合膜层上方，复合膜层中的任意一个界面处形成有图案化结构，图案化结构为凹槽阵列图形，凹槽阵列图形呈定周期或变周期分布。通过在复合膜层中的任意一个界面处采用刻蚀工艺进行图形化处理，形成凹槽结构，可以有效散射高阶杂波响应，通过调节图形的深度与径向大小，可以减小甚至消除不同频段的高阶杂波，提高阻带抑制能力。 |
