一种混合结构声波器件
基本信息
| 申请号 | CN202111574229.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114389561A | 公开（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申请公布号 | CN114389561A | 申请公布日 | 2022-04-22 |
| 分类号 | H03H9/02 | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 陈云姣;王为标;陆增天;徐彬;韦鹏 | 申请（专利权）人 | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 过顾佳 |
| 地址 | 214124 江苏省无锡市经济技术开发区高运路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种混合结构声波器件，该声波器件封装结构包括衬底和衬底上方多个体声波谐振器和声表面波谐振器。体声波谐振器位于衬底上方，衬底上方有上层布拉格反射镜和下层布拉格反射镜，两布拉格反射镜中间有压电层和上下电极，形成体声波谐振器；上层布拉格反射镜上方为压电层和声表面波换能器，形成声表面波谐振器。在同一衬底上集成了SMR结构的体声波谐振器和IHP结构的声表面波谐振器，大大提高了集成度；由于SMR和IHP都是叠层结构，工艺制程易于实现；体声波谐振器与声表面波谐振器之间有布拉格反射镜的存在，对两种声波各自进行了声学反射，杜绝了两种谐振器之间的干扰，在实现小型化的同时保证了两谐振器之间的隔离。 |
