一种具有空气隙的BAW谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202122308677.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215934828U | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN215934828U | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 代丹;王为标;陆增天;杜杰;窦韶旭 | 申请（专利权）人 | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 过顾佳 |
| 地址 | 214124江苏省无锡市经济技术开发区高运路115号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种具有空气隙的BAW谐振器，涉及MEMS器件制造领域，该BAW谐振器包括由下而上依次设置的基底、非晶硅、布拉格反射栅、下电极层、压电层和上电极层，下电极层边缘与布拉格反射栅之间形成有空气隙。该BAW谐振器通过在布拉格反射栅上表面的下电极边界处形成空气隙，起到了声波限制边界的作用，从而减小谐振器的插入损耗，提高谐振器Q值。 |
