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一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置

基本信息

申请号 CN202021104150.4 申请日 -
公开（公告）号 CN212553312U 公开（公告）日 2021-02-19
申请公布号 CN212553312U 申请公布日 2021-02-19
分类号 B24B41/00(2006.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 李浩瀚 申请（专利权）人 深圳市蓝宝源光电科技有限公司
代理机构 北京万贝专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 马红
地址 518000广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置，包括工作台，所述工作台的四个角下均固定设有支撑柱，所述工作台中开设有圆柱形凹槽，所述圆柱形凹槽中部开设有第一通孔，所述圆柱形凹槽底端固定设有第一加热盘，所述第一加热盘中部开设有与所述第一通孔相匹配的第二通孔，所述第一通孔内设有顶板，所述顶板上固定嵌设有温度传感器，所述顶板下设有顶出机构。有益效果：能够从蓝宝石陶瓷盘的两面同时进行加热，不仅加热速度快，而且能够使得蓝宝石陶瓷盘受热均匀，并且能够实时对蓝宝石陶瓷盘进行温度检测，从而能够在温度达到指定温度后第一时间停止对蓝宝石陶瓷盘加热进行脱片作业，以减少脱片过程中的耗时和耗能。