表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用方法
基本信息
申请号 | CN201210273680.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN102730887B | 公开(公告)日 | 2014-12-10 |
申请公布号 | CN102730887B | 申请公布日 | 2014-12-10 |
分类号 | C25D21/20(2006.01)I | 分类 | 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕; |
发明人 | 傅新民;上野山卫;林诗诠;张芳淑;薛慕棨 | 申请(专利权)人 | 昊鼎环保科技(湖北)有限公司 |
代理机构 | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 华夏新资源有限公司;先进资源科技有限公司;昊鼎环保科技(湖北)有限公司 |
地址 | 塞舌尔马赫岛天意工业房地产斯波朗斯24号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种表面处理化学铜制程清洗液中铜的循环利用方法,包括如下步骤:利用清洗液储存槽储存清洗液,并利用碳纤维过滤器过滤清洗液的微小颗粒并吸附氯;利用臭氧氧化器产生臭氧以氧化有机物,并回送至清洗液储存槽;利用高压帮浦抽取并加压清洗液储存槽中的清洗液以形成高压处理液;利用逆渗透模块接收高压处理液,且该逆渗透模块包含逆渗透膜,用以进行逆渗透处理,产生渗透过逆渗透膜的渗透液以及未渗透的浓缩液,且浓缩液至少包含高浓度的硫酸铜;以及将浓缩液输送出去,可当作镀液中铜的额外来源,具体实现回收清洗液中的化学铜,达到零排放及零污泥的目标。 |
