一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房
基本信息
| 申请号 | CN202023252412.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214469024U | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN214469024U | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | F24F3/167;F24F8/108;F24F8/158;F24F13/28;A62C31/03;A62C31/28;E04H5/02 | 分类 | 供热；炉灶；通风; |
| 发明人 | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人 | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王家蕾 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市秀洲新区京润大厦10楼1010室-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于厂房技术领域，尤其为一种碳化硅半导体生产用的洁净厂房，包括地面，所述地面的顶部固定连接有厂房本体，所述厂房本体的内部固定连接有挡板，所述挡板的顶部固定连接有净化箱，所述挡板的顶部固定连接有吸风机，所述吸风机的输入端与厂房本体连通，所述吸风机的输出端与净化箱连通，所述净化箱的内壁固定连接有夹板。本实用新型通过吸风机的设置，可将空气吸入净化箱内，利用第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网的灭菌作用，对空气进行净化，增加厂房质量，配合防尘网的吸附效果，可将灰尘进行去除，进一步加强净化效果，通过螺栓，使防尘网、第一活性炭杀菌网和第二活性炭杀菌网可以拆卸。 |
