一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统
基本信息
| 申请号 | CN202023231923.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214469022U | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN214469022U | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | F24F3/167;F24F5/00;F24F8/108;F24F8/26;F24F13/02;F24F13/28 | 分类 | 供热；炉灶；通风; |
| 发明人 | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请（专利权）人 | 浙江中电环境科技有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王家蕾 |
| 地址 | 314000 浙江省嘉兴市秀洲新区京润大厦10楼1010室-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，包括空调净化箱、空气净化处理机组、臭氧发生器、加热器、U型框和挤压板，所述空调净化箱的内部安装有第一分隔板，所述空调净化箱的内部安装有第二分隔板，所述空调净化箱内部远离第一分隔板的一端安装有第三分隔板，且第三分隔板的内部开设有通孔，所述空调净化箱内部底端靠近第一分隔板的一端安装有第一底座，且第一底座的顶端安装有贯穿第一分隔板的空气净化处理机组。该氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，通过螺纹杆移动来带动挤压板对HEPA过滤网进行夹紧固定，从而便于操作人员对HEPA过滤网进行安装和拆卸。 |
