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一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组

基本信息

申请号 CN202023247533.X 申请日 -
公开（公告）号 CN214249909U 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN214249909U 申请公布日 2021-09-21
分类号 F24F3/167（2021.01）I;F24F8/158（2021.01）I;F24F8/108（2021.01）I;F24F8/20（2021.01）I;F24F13/28（2006.01）I 分类 供热；炉灶；通风;
发明人 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 申请（专利权）人 浙江中电环境科技有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 王家蕾
地址 314000浙江省嘉兴市秀洲新区京润大厦10楼1010室-2
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于空气净化处理机组技术领域，尤其为一种碳化硅半导体生产用洁净室空气处理机组，包括机组本体，所述机组本体的内壁滑动连接有活性炭杀菌网，所述机组本体的内壁滑动连接有第一防尘网，所述机组本体的内壁滑动连接有第二防尘网，所述活性炭杀菌网、第一防尘网和第二防尘网的顶部均固定连接有拉板，所述机组本体的顶部固定连接有固定盒。本实用新型通过拉杆的设置，使拉杆向两边拉动时，带动限位板向两边压缩伸缩杆和压缩弹簧，将插杆从套筒内抽出，使插杆与拉板分离，配合活性炭杀菌网、第一防尘网、第二防尘网与机组本体滑动连接，从而可将活性炭杀菌网、第一防尘网、第二防尘网抽出。