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一种碳化硅半导体生产用的单晶炉

基本信息

申请号 CN202023231893.0 申请日 -
公开（公告）号 CN214736216U 公开（公告）日 2021-11-16
申请公布号 CN214736216U 申请公布日 2021-11-16
分类号 C30B29/36（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 申请（专利权）人 浙江中电环境科技有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） 代理人 王家蕾
地址 314000浙江省嘉兴市秀洲新区京润大厦10楼1010室-2
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种碳化硅半导体生产用的单晶炉，包括保温密封仓主体、电机和密封盖，所述保温密封仓主体底部的两侧皆安装有支撑脚，且保温密封仓主体一侧的底部连通有进出气管，所述进出气管的外侧安装有阀门。该碳化硅半导体生产用的单晶炉，通过两组活动板分别与正反丝杆的螺纹连接，与装置仓的滑动连接，以及密封盖上设置有第三弹簧和环形密封垫，使得操作人员转动正反丝杆时可以带动两组活动板分别带动其上的挤压限位件与对应的限位槽相互挤压，从而对密封盖和保温密封仓主体进行限位固定的同时使得第三弹簧和环形密封垫被挤压，进而可以方便快捷的完成密封操作，且可以保证该装置在工作时的稳定性。